泽科电子联合日本滨松实验室及国内顶尖光学教授和博士团队，运用多种光学DOE器件、空间光调制器SLM等多种光学元器件，并进行模块化封装，创新的打造出超快激光微纳加工魔术平台，可广泛应用于各型泛半导体晶圆微纳加工应用。超快激光微纳工魔术平台，可通过快速更换不同的光学模块可支持：隐切、开槽、表切、打孔、微流控、光波导、光量子、表面处理、光栅、光存储、诱导蚀刻、TGV、解键合等应用场景，做到“ N in one ” 复合应用。
面向科研及小批量加工应用场景：
设备型，最大加工范围8寸
高精度，重复定位精度最高±50nm
真三维，XYZT四轴联动全3D加工
精加工，PSO及焦点随动补偿
全电控，基本光学器件全电控化
模块化，光路模块化封装，支持快插快换
超编程，全要素编程，支持脚本及可视化双模式
易操作，支持在线绘图及CAD图纸导入加工
高保护，空气隔振及断电保护
面向实验及科研应用场景：
桌面型，最大加工范围4寸
高精度，重复定位精度±250nm
真三维，XYZ三轴联动3D加工
精加工，支持PSO功能出光与运动平台同步
全电控，基本光学器件全电控化
模块化，光路模块化封装，支持快插快换
超编程，全要素编程，支持脚本编程
易操作，支持在线绘图加工
选配规格表：
| 项目 | 规格 | FemtoX Lab | FemtoX Kit | ||||||
| Standard | Professional | Master | Standard | Professional | Master | ||||
| 以下为选配件 | |||||||||
| 激光器 | 激光器来源 | 规格定制 | 国产 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 用户指定第三方 | 国产/进口 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 用户自有 | 国产/进口 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 运动控制平台 | 功能增强 | 重复定位精度 | ±50nm | ○ | ○ | ○ | |||
| 空气隔振器 | 4套 | ○ | ○ | ○ | |||||
| 随动系统 | 1套 | ○ | ○ | ○ | |||||
| 定制化夹具 | 定制 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| 定制接口 | 定制 | ○ | ○ | ○ | |||||
| UPS | 1套 | ○ | ○ | ○ | |||||
| 光学器件及成像系统 | 光源属性 | 涡旋/圆柱矢量光场 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| BBO倍频光转换 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 贝塞尔高斯光束 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 圆偏振/椭圆偏振 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 光束质量 | 角度稳定系统 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| 光场形态DOE定制 | 纵向多焦点 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| 并行多光束 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 三维多焦点 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 多面形平顶光束 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 长焦深光场 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 线扫描光场 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 球差校正 | 1套 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 空间光调器SLM | 含定制相位图 | 全进口 | ○ | ○ | |||||
| 含定制相位图 | 国产 | ○ | ○ | ||||||
| 成像系统 | 高分辨率可调系统 | 全进口套件 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |